光亮上前了解一番，这才知道他们的三十二纳米光刻实验已经接近100%的成功了——这就是这种光刻机的好处，步骤简化，无需其他前置辅助，就能进行光刻，不会出现因为其他步骤失误而造成芯片不合格quff點cc
旁边还有一台，这一台是22纳米光刻机，现在的成功率在60%左右，因为有些地方仍然不平稳，所以成功率不算太高，他们正在通过调整程序以及零件的办法增加精准度quff點cc
现在伺服电机能够转动的最小精准角度为10度，这代表着如果想要进行纳米级移动需要高精准度的减速机，为了能够达到这个目标，这台机器上加装了大量的减速机，并且为了能够达到目的，还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转，这才能精准的进行光刻quff點cc
徐光亮看了一会，找到负责人问：“现在什么情况？22纳米光刻机设什么时候能够成功？十四纳米呢？”
负责人摇摇头说：“现在这个设计很难达到14纳米精度，不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法quff點cc”
他一听非常有兴趣问：“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度？”
“集成光刻微动机电技术！”负责人说quff點cc
“是这个？”徐光亮当然知道这个技术，说起来也是因为光子核心知道的这个东西，因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案quff點cc但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案，所以没有允许，因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术，毕竟它的响应速度制约了光子核心运算速度quff點cc
但是现在不同，这个并不是光子核心，如果能够用这套东西解决精度问题，那也是不错的方案quff點cc
负责人喋喋不休的给徐光亮科普这个东西，徐光亮摆了摆手说：“我知道这个东西，那么你们做过实验吗？”
“做过了，我们使用32纳米的光刻机进行光刻零件制作，得到了光刻零件和微型伺服电机，大小只有数百纳米那么大，经过实验，这些小东西能够进行数十纳米的精准移动quff點cc”负责人领着徐光亮来到了一个由很多小平台组成的机械旁quff點cc
徐光亮看了看这个别致的小机器，它的大小只有一米见方，旁边伸出了一个操作台，底部是由铸铁做成的重量高达数吨的底座，机器是按在上面的，底座周围采用的是隔离安装，周围挖空，防止外界机械振动对机器造成影响quff點cc
负责人叫来一个人进行操作，徐光亮看到，开启之后，早已经准备好的切割好的芯片块被传料装置传到工位上，经过定位之后，拖着芯片块
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